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ハクマク サクセイ オウヨウ ハンドブック
薄膜作製応用ハンドブック / 小川正毅, 多賀康訓編集委員 ; 八瀬清志編集協力委員
Material Type | Books |
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Publisher | 東京 : エヌ・ティー・エス |
Classification | NDC8:549 NDC8:549.036 NDC9:549.8 NDLC:ND2 NDLC:ND371 |
Year | 2003.4 |
Size | 5, 15, 1330, 25, 19, 18p, 図版18p, 表9p : 挿図 ; 27cm |
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Notes | 監修: 權田俊一 執筆者: 權田俊一ほか 各章末: 参考・引用文献 |
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Authors | 小川, 正毅 <オガワ, マサタケ> 多賀, 康訓 <タガ, ヤスノリ> 八瀬, 清志 <ヤセ, キヨシ> 権田, 俊一(1936-) <ゴンダ, シュンイチ> |
Subjects | NDLSH:薄膜 |
ID | 1000078678 |
NCID | BA61815894 |