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検索キーワード：(著者名に左の語を含む: #Symposium on Plasma Synthesis and Etching of Electronic Materials)
該当件数:1件
Plasma synthesis and etching of electronic materials : symposium held November 27-30, 1984, Boston, Massachusetts, U.S.A. / editors, R.P.H. Chang, B. Abeles
Pittsburgh, Pa. : Materials Research Society , c1985. - (Materials Research Society symposia proceedings ; v. 38)
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