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検索キーワード:(標準分類: TA2020)
該当件数:9件
Двухструйный плазматрон / Ж. Жеенбаев, В.С. Энгельшт
Фрунзе : Илим , 1983
図書
Handbook of plasma processing technology : fundamentals, etching, deposition, and surface interactions / edited by Stephen M. Rossnagel, Jerome J. Cuomo, William D. Westwood
Park Ridge, N.J. : Noyes Publications , c1990. - (Materials science and process technology series)
Plasma electronics : applications in microelectronic device fabrication / by T. Makabe and Z. Petrović
Boca Raton, FL : Taylor & Francis , 2006. - (Series in plasma physics)
Laser-induced plasmas and applications / edited by Leon J. Radziemski, David A. Cremers
New York : M. Dekker , c1989. - (Optical engineering ; v. 21)
Plasma processing of materials / edited by H.J. Oskam
Park Ridge, N.J. : Noyes Publications , c1984
Physics of radio-frequency plasmas / Pascal Chabert, Nicholas Braithwaite
: hardback. - Cambridge, UK : Cambridge University Press , 2011
Applications to nonthermal plasma processing / J. Reece Roth
: pbk. - Bristol ; Philadelphia : Institute of Physics Pub. , c2001. - (Industrial plasma engineering / J. Reece Roth ; v. 2)
Kinetics of nonequilibrium low-temperature plasmas / L.M. Biberman, V.S. Vorobʹev, and I.T. Yakubov ; translated from Russian by Steve Torstveit
: softcover. - New York : Consultants Bureau , c1987
Plasma etching : an introduction / edited by Dennis M. Manos, Daniel L. Flamm
Boston ; Tokyo : Academic Press , c1989. - (Plasma-materials interactions)