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検索キーワード:(著者名に左の語を含む: #小沼 光晴)
該当件数:2件
Film deposition by plasma techniques / Mitsuharu Konuma
: Germany,: New York. - Berlin ; Tokyo : Springer-Verlag , c1992. - (Springer series on atoms + plasmas ; 10)
図書
プラズマと成膜の基礎 / 小沼光晴著
東京 : 日刊工業新聞社 , 1986.8