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検索キーワード:(標準分類: TK7871.15.F5)
該当件数:3件
Film deposition by plasma techniques / Mitsuharu Konuma
: Germany,: New York. - Berlin ; Tokyo : Springer-Verlag , c1992. - (Springer series on atoms + plasmas ; 10)
図書
Thin film processes / edited by John L. Vossen, Werner Kern
[v. 1],v. 2. - New York : Academic Press , c1978-c1991
Preparation and properties of thin films / edited by K.N. Tu and R. Rosenberg
New York : Academic Press , 1982. - (Treatise on materials science and technology ; v. 24)