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検索キーワード：(件名: #Etching)
該当件数:5件
Handbook of plasma processing technology : fundamentals, etching, deposition, and surface interactions / edited by Stephen M. Rossnagel, Jerome J. Cuomo, William D. Westwood
Park Ridge, N.J. : Noyes Publications , c1990. - (Materials science and process technology series)
図書
Plasma etching in semiconductor fabrication / Russ A. Morgan
Amsterdam ; Tokyo : Elsevier , c1985. - (Plasma technology ; 1)
Dry etching for microelectronics / edited by Ronald A. Powell
Amsterdam ; Tokyo : North-Holland. - New York, N.Y. : Distributors for the USA and Canada, Elsevier Science Pub. Co. , 1984. - (Materials processing, theory and practices ; v. 4)
Applications of plasma processes to VLSI technology / edited by Takuo Sugano ; translated by Hyo-gun Kim
New York : Wiley , c1985
Silicon, chemical etching / editor, J. Grabmaier ; with contributions by R.B. Heimann ... [et al.]
: U.S.,: Germany. - Berlin ; New York : Springer-Verlag , 1982. - (Crystals : growth, properties, and applications ; 8)
