検索結果をRefWorksへエクスポートします。対象は1件です。
Export
RT Book, Whole SR Print DC OPAC T1 Vacuum technology, thin films, and sputtering : an introduction / R.V. Stuart A1 *Stuart, R. V. YR 1983 FD 1983 SP viii, 151 p. K1 Vacuum technology K1 Thin films K1 Cathode sputtering (Plating process) PB Academic Press PP New York SN 0126747806 LA English (英語) CL LCC:TP156.V3 CL DC19:621.5/5 NO Includes index NO 書誌ID=1000016335; NCID=BA06945480; LK [OPAC]https://libop-nifs.nifs.ac.jp/opac/opac_link/bibid/1000016335 LK [Webcat Plus]http://webcatplus-equal.nii.ac.jp/libportal/DocDetail?hdn_if_lang=jpn&txt_docid=NCID:BA06945480; [Webcat Plus]http://webcatplus-equal.nii.ac.jp/libportal/EqualFromForm?txt_isbn=0126747806 OL 30