検索結果をRefWorksへエクスポートします。対象は1件です。
Export
RT Book, Whole SR Print DC OPAC T1 Plasma etching in semiconductor fabrication / Russ A. Morgan T2 Plasma technology A1 Morgan, Russ A., 1950- YR 1985 FD c1985 SP 318 p K1 Semiconductors -- Etching K1 Plasma etching PB Elsevier PP Amsterdam ; Tokyo SN 0444424199 LA English (英語) CL LCC:TK7871.85 CL DC19:621.3815/2 NO Includes bibliographical references and index NO 書誌ID=1000010291; NCID=BA00003964; LK [OPAC]https://libop-nifs.nifs.ac.jp/opac/opac_link/bibid/1000010291 LK [Webcat Plus]http://webcatplus-equal.nii.ac.jp/libportal/DocDetail?hdn_if_lang=jpn&txt_docid=NCID:BA00003964; [Webcat Plus]http://webcatplus-equal.nii.ac.jp/libportal/EqualFromForm?txt_isbn=0444424199 OL 30