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RT Book, Whole SR Print DC OPAC T1 マイクロ・ナノ電子ビーム装置における真空技術 / 吉村長光著 A1 吉村, 長光 YR 2003 FD 2003.12 SP 6, 338, 2, 10p K1 真空技術 K1 電子線 K1 真空工学 PB エヌ・ティー・エス PP 東京 SN 4860430395 LA Japanese (日本語) CL NDC9:534.93 CL NDLC:NB126 NO 監修: 岡野達雄 NO 参考・引用文献: 各章末 NO 書誌ID=1000074195; NCID=BA6508397X; LK [OPAC]https://libop-nifs.nifs.ac.jp/opac/opac_link/bibid/1000074195 LK [Webcat Plus]http://webcatplus-equal.nii.ac.jp/libportal/DocDetail?hdn_if_lang=jpn&txt_docid=NCID:BA6508397X; [Webcat Plus]http://webcatplus-equal.nii.ac.jp/libportal/EqualFromForm?txt_isbn=4860430395 OL 58