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<図書>
Principles of plasma discharges and materials processing / Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg

データ種別 図書
出版者 New York : Wiley
分 類 NDC8:427.6
LCC:QC718.5.D9
DC20:530.4/4
出版年 c1994
大きさ xxvi, 572 p. : ill. ; 25 cm

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3F
426BB||Lie 10027449

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一般注記 Includes bibliographical references (p. 559-564) and index
"A Wiley-Interscience publication."
著者標目 *Lieberman, M. A. (Michael A.)
Lichtenberg, Allan J
件 名 LCSH:Plasma dynamics
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LCSH:Plasma etching
LCSH:Plasma chemistry
書誌ID 1000017308
NCID BA2405445X

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