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<図書>
CIP 85 : 5ème Colloque international sur les plasmas et la pulvérisation cathodique, Palais des Congrès d'Antibes, 10 au 14 juin 1985 = 5th International Colloquium on Plasmas and Sputtering / organisé par la Société française du vide, Paris, France, avec le concours de la Direction des industries électroniques et de l'informatique du Ministère du redéploiement industriel et du commerce extérieur

データ種別 図書
出版者 Paris : SFV
分 類 LCC:QC717.6
DC19:530.4/4
出版年 [1985]
大きさ 339 p. : ill. (some col.) ; 25 cm

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3F
426BC||Pc-Pla||1985 10043578

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別書名 異なりアクセスタイトル:Comptes-rendus des travaux du 5e Colloque international sur les plasmas et la pulvérisation cathodique
一般注記 French and English
Cover title: Comptes-rendus des travaux du 5e Colloque international sur les plasmas et la pulvérisation cathodique
"Supplément à la révue 'Le vide, les couches minces' no 226 (mars-avril 1985)"
Includes bibliographies
著者標目 *International Colloquium on Plasmas and Sputtering (5th : 1985 : Antibes, France)
Société française du vide
France. Direction des industries électroniques et de l'informatique
件 名 LCSH:Plasma (Ionized gases) -- Congresses  全ての件名で検索
LCSH:Sputtering (Physics) -- Congresses  全ての件名で検索
書誌ID 1000012512
NCID BA14168860

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