Mendeley出力
＜図書＞
Electron-beam technology in microelectronic fabrication / edited by George R. Brewer ; contributors, J. P. Ballantyne ... [et al.]
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | New York : Academic Press |
| 分 類 | LCC:TK7874 DC:621.381/7 |
| 出版年 | 1980 |
| 大きさ | xi, 362 p. : ill. ; 24 cm |
書誌詳細を非表示
| 一般注記 | Includes bibliographies and index |
|---|---|
| 著者標目 | *Brewer, George Raymond, 1922- Ballantyne, J. P. |
| 件 名 | LCSH:Microelectronics LCSH:Lithography, Electron beam |
| 書誌ID | 1000010590 |
| NCID | BA03079113 |