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<図書>
Sputtering of alloys and compounds, electron and neutron sputtering, surface topography / edited by R. Behrisch ; with contributions by R. Behrisch ... [et al.]
(Topics in applied physics ; v. 52 . Sputtering by particle bombardment / edited by R. Behrisch ; 2)

データ種別 図書
出版者 Berlin ; Tokyo : Springer-Verlag
分 類 LCC:QC176.8.S72
DC19:530.4/1
出版年 1983
大きさ xii, 391 p. : ill. ; 24 cm

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3F
426F||Beh||2 10046514

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