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<図書>
Physical sputtering of single-element solids / edited by R. Behrisch, with contributions by H.H. Andersen ... [et al.]
(Topics in applied physics ; v. 47 . Sputtering by particle bombardment / edited by R. Behrisch ; 1)

データ種別 図書
出版者 Berlin ; New York : Springer-Verlag
分 類 LCC:QC176.8.S72
DC19:530.4/1
出版年 1981
大きさ x, 281 p. : ill. ; 24 cm

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3F
426F||Beh||1 10046506

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