＜図書＞
サブミクロン・リソグラフィ ソウゴウ ギジュツ シリョウシュウ
サブミクロン・リソグラフィ総合技術資料集 / 北山豊樹[ほか]編
| データ種別 |
図書 |
| 出版者 |
東京 : サイエンスフォーラム |
| 分 類 |
NDC8:549.7
NDLC:ND386
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| 出版年 |
1985.3 |
| 大きさ |
540p ; 31cm |
| 一般注記 |
監修:難波進
限定版
各章末:参考文献 |
| 著者標目 |
北山, 豊樹 <キタヤマ, トヨキ>
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| 件 名 |
NDLSH:リソグラフィー
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| 書誌ID |
1000001432 |
| NCID |
BN02123266
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