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クラスター イオン ビーム キソ ト オウヨウ : ジセダイ ナノ カコウ プロセス ギジュツ
クラスターイオンビーム基礎と応用 : 次世代ナノ加工プロセス技術 / 山田公編著
| Material Type | Books |
|---|---|
| Publisher | 東京 : 日刊工業新聞社 |
| Classification | NDC8:549.1 NDC9:549.1 |
| Year | 2006.10 |
| Size | xi, 223p ; 21cm |