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マイクロ ナノ デンシ ビーム ソウチ ニオケル シンクウ ギジュツ
マイクロ・ナノ電子ビーム装置における真空技術 / 吉村長光著
| Material Type | Books |
|---|---|
| Publisher | 東京 : エヌ・ティー・エス |
| Classification | NDC9:534.93 NDLC:NB126 |
| Year | 2003.12 |
| Size | 6, 338, 2, 10p : 挿図 ; 26cm |