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プラズマ ト セイマク ノ キソ
プラズマと成膜の基礎 / 小沼光晴著
| Material Type | Books |
|---|---|
| Publisher | 東京 : 日刊工業新聞社 |
| Classification | NDC8:427.6 NDC8:431.7 NDC7:427.5 |
| Year | 1986.8 |
| Size | iv,202,iiip ; 22cm |
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| Notes | 各章末:文献 |
|---|---|
| Authors | 小沼, 光晴(1950-) <コヌマ, ミツハル> |
| Subjects | BSH:プラズマ NDLSH:プラズマ |
| ID | 1000054321 |
| NCID | BN00233219 |