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＜Books＞
シンクウ ジョウチャク
真空蒸着 / ジークフリート・シラー, ウルリッヒ・ハイジッヒ著 ; 日本真空技術株式会社訳
| Material Type | Books |
|---|---|
| Publisher | 東京 : アグネ |
| Classification | NDC6:549 NDLC:ND351 |
| Year | 1977.5 |
| Size | 144p ; 22cm |
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| Other titles | original title:Bedampfungs-technik : verfahren Einrichtungen Anwendungen |
|---|---|
| Notes | 文献:p139～144 |
| Authors | Schiller, Siegfried, 1933- Heisig, Ullrich, 1933- 日本真空技術株式会社 <ニホン シンクウ ギジュツ カブシキ ガイシャ> |
| Subjects | NDLSH:薄膜 |
| ID | 1000001541 |
| NCID | BN02783006 |