Export Mendeley
＜Books＞
プラズマ プロセシング ノ キソ
プラズマプロセシングの基礎 / Brian N. Chapman著 ; 岡本幸雄訳
| Material Type | Books |
|---|---|
| Publisher | 東京 : 電気書院 |
| Classification | NDC8:427.6 NDLC:MC241 |
| Year | 1985.11 |
| Size | 13, 391p ; 22cm |
Hide book details.
Hide details.
| Other titles | original title:Glow discharge processes : sputtering and plasma etching |
|---|---|
| Notes | Glow discharge processes, c1980 の翻訳 参考文献: p[357]-386 |
| Authors | Chapman, Brian N. 岡本, 幸雄 <オカモト, ユキオ> |
| Subjects | NDLSH:プラズマ |
| ID | 1000000130 |
| NCID | BN00319697 |