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マイクロ ナノ デンシ ビーム ソウチ ニオケル シンクウ ギジュツ
マイクロ・ナノ電子ビーム装置における真空技術 / 吉村長光著

データ種別 図書
出版者 東京 : エヌ・ティー・エス
分　類 NDC9:534.93
NDLC:NB126
出版年 2003.12
大きさ 6, 338, 2, 10p : 挿図 ; 26cm

所蔵情報を非表示

3F
534||Yos 30008650
目次PDF

3F
534||Yos||b 40045585
目次PDF

書誌詳細を非表示

別書名 異なりアクセスタイトル:マイクロ・ナノ電子ビーム装置における真空技術
一般注記 監修: 岡野達雄
参考・引用文献: 各章末
著者標目 吉村, 長光 <ヨシムラ, ナガミツ>
件　名 BSH:真空技術
BSH:電子線
NDLSH:真空工学
書誌ID 1000074195
NCID BA6508397X

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