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<図書>
Plasma-surface interactions and processing of materials / edited by Orland Auciello ... [et al.]
(NATO ASI series ; ser. E . Applied sciences ; no. 176)

データ種別 図書
出版者 Dordrecht ; Boston : Kluwer Academic Publishers
分 類 LCC:TA418.7
DC20:620/.44
出版年 c1990
大きさ xiii, 557 p. : ill. ; 25 cm

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3F
426AB||Pc-Pla||1988 10005213

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