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<図書>
Radio frequency/radiation and plasma processing : industrial applications & advances / edited by P.N. Cheremisinoff, O.G. Farah, R.P. Ouellette ; in collaboration with D.M. Annett ... [et al.]

データ種別 図書
出版者 Lancaster, Pa. : Technomic Pub. Co.
分 類 LCC:TK4601
DC19:621.042
出版年 c1985
大きさ vii, 213 p. : ill. ; 24 cm

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3F
426BB||Che 10006278

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