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<図書>
Ion beam processes in advanced electronic materials and device technology : symposium held April 15-18, 1985, San Francisco, California, U.S.A. / editors, B.R. Appleton, F.H. Eisen, T.W. Sigmon
(Materials Research Society symposia proceedings ; v. 45)

データ種別 図書
出版者 Pittsburgh, Pa. : Materials Research Society
分 類 LCC:TK7871.85
DC19:621.3815/2
出版年 c1985
大きさ xv, 393 p. : ill. ; 24 cm

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3F
510A||Pc-Ion||1985 10020535

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