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<図書>
Ion implantation / Heiner Ryssel and Ingolf Ruge

データ種別 図書
出版者 Chichester [West Sussex] ; New York : Wiley
分 類 LCC:TK7871.85
DC19:621.3815/2
出版年 c1986
大きさ xvii, 459 p. : ill. ; 24 cm

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3F
429AA||Rys 10176451

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別書名 原タイトル:Ionenimplantation
著者標目 *Ryssel, Heiner, 1941-
Ruge, Ingolf
件 名 LCSH:Ion implantation
LCSH:Semiconductors
書誌ID 1000055231
NCID BA00364146

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