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<図書>
Ion implantation techniques : lectures given at the Ion Implantation School, in connection with the Fourth International Conference on Ion Implantation: Equipment and Techniques, Berchtesgaden, Fed. Rep. of Germany, September 13-15, 1982 / editors, H. Ryssel and H. Glawischnig
(Springer series in electrophysics ; v. 10)

データ種別 図書
出版者 Berlin ; New York : Springer-Verlag
分 類 LCC:TK7871.85
DC19:621.3815/2
出版年 1982
大きさ xii, 372 p. : ill. ; 24 cm

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3F : gw 429AA||Pc-Ion||1982 10176055

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