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<図書>
Plasma etching in semiconductor fabrication / Russ A. Morgan
(Plasma technology ; 1)

データ種別 図書
出版者 Amsterdam ; Tokyo : Elsevier
分 類 LCC:TK7871.85
DC19:621.3815/2
出版年 c1985
大きさ 318 p : ill. ; 25 cm

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3F
426E||Pla||1 10045979

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著者標目 *Morgan, Russ A., 1950-
件 名 LCSH:Semiconductors -- Etching  全ての件名で検索
LCSH:Plasma etching
書誌ID 1000010291
NCID BA00003964

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