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<図書>
Plasma processing : symposium held April 15-18, 1986, Palo Alto, California, U.S.A. / editors, J.W. Coburn, R.A. Gottscho, D.W. Hess
(Materials Research Society symposium proceedings ; v. 68)

データ種別 図書
出版者 Pittsburgh, Pa. : Materials Research Society
分 類 LCC:TA2005
DC19:621.044
出版年 c1986
大きさ xvii, 463 p. : ill. ; 24 cm

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3F
426E||Pc-Pla||l986 10046274

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一般注記 Includes indexes
著者標目 Coburn, J. W., 1932-
Gottscho, R. A.
Hess, Dennis W.
Materials Research Society
Symposium on Plasma Processing (1986 : Palo Alto, Calif.)
件 名 LCSH:Plasma engineering -- Congresses  全ての件名で検索
書誌ID 1000010363
NCID BA00570669

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