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<図書>
Plasma-surface interactions and processing of materials / edited by Orland Auciello ... [et al.]
(NATO ASI series ; ser. E . Applied sciences ; no. 176)

データ種別 図書
出版者 Dordrecht ; Boston : Kluwer Academic Publishers
分 類 LCC:TA418.7
DC20:620/.44
出版年 c1990
大きさ xiii, 557 p. : ill. ; 25 cm

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3F
426AB||Pc-Pla||1988 10005213

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一般注記 "Proceedings of the NATO Advanced Study Institute on Plasma-Surface Interactions and Processing of Materials, Alicante, Spain, September 4-16, 1988"--T.p. verso
著者標目 *NATO Advanced Study Institute on Plasma-Surface Interactions and Processing of Materials (1988 : Alicante, Spain)
Auciello, Orlando, 1945-
件 名 LCSH:Materials -- Surfaces -- Congresses  全ての件名で検索
LCSH:Materials -- Effect of radiation on -- Congresses  全ての件名で検索
LCSH:Microelectronics -- Materials -- Effect of radiation on -- Congresses  全ての件名で検索
LCSH:Plasma etching -- Congresses  全ての件名で検索
書誌ID 1000011788
NCID BA10180092

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