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<図書>
Plasma synthesis and etching of electronic materials : symposium held November 27-30, 1984, Boston, Massachusetts, U.S.A. / editors, R.P.H. Chang, B. Abeles
(Materials Research Society symposia proceedings ; v. 38)

データ種別 図書
出版者 Pittsburgh, Pa. : Materials Research Society
分 類 LCC:TA2005
DC19:621.044
出版年 c1985
大きさ xv, 522 p. : ill. ; 24 cm

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3F
426E||Pc-Pla||1984 10046266

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一般注記 Papers presented at the Symposium on Plasma Synthesis and Etching of Electronic Materials held in Boston, Mass. on Nov. 27-30, 1984
Includes bibliographies and indexes
著者標目 Chang, R. P. H. (Robert Pang Heng), 1941-
Abeles, B.
Symposium on Plasma Synthesis and Etching of Electronic Materials (1984 : Boston, Mass.)
Materials Research Society
件 名 LCSH:Plasma engineering -- Congresses  全ての件名で検索
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書誌ID 1000014027
NCID BA03290705

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