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<図書>
Electron and ion optics / Miklos Szilagyi
(Microdevices : physics and fabrication technologies)

データ種別 図書
出版者 New York : Plenum Press
分 類 LCC:QC793.5.E62
DC19:537.5/6
出版年 c1988
大きさ xvi, 539 p. : ill. ; 26 cm

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3F
540A||Szi 10069177

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著者標目 *Szilágyi, Miklós
件 名 LCSH:Electron optics
LCSH:Electron beams
LCSH:Ion bombardment
LCSH:Electromagnetic lenses
書誌ID 1000015996
NCID BA03946294

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