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<図書>
Laser processing of thin films and microstructures : oxidation, deposition and etching of insulators / Ian W. Boyd
(Springer series in materials science ; v. 3)

データ種別 図書
出版者 Berlin ; New York : Springer-Verlag
分 類 LCC:TA1677
DC19:621.36/6
出版年 c1987
大きさ viii, 320 p. : ill. ; 24 cm

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3F : Germany 425C||Boy 10120202

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著者標目 *Boyd, Ian W.
件 名 LCSH:Lasers -- Industrial applications  全ての件名で検索
書誌ID 1000052798
NCID BA01434688

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