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<図書>
Beam processing technologies / edited by Norman G. Einspruch, S.S. Cohen, Raj N. Singh
(VLSI electronics : microstructure science / edited by Norman G. Einspruch ; v. 21)

データ種別 図書
出版者 San Diego, Calif. ; Tokyo : Academic Press
分 類 LCC:TK7874
NDC7:549.3
NDC7:549.46
NDC8:549.708
出版年 c1989
大きさ xii, 546 p. : ill. ; 24 cm

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3F
540A||Ein 10103315

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