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<図書>
Film deposition by plasma techniques / Mitsuharu Konuma
(Springer series on atoms + plasmas ; 10)

データ種別 図書
出版者 Berlin ; Tokyo : Springer-Verlag
分 類 LCC:TK7871.15.F5
DC20:621.381/52
出版年 c1992
大きさ ix , 224 p. : ill. ; 24 cm

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3F
429A||Ato||10 10188605

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別書名 その他のタイトル:プラズマと成膜の基礎
著者標目 *小沼, 光晴(1950-) <コヌマ, ミツハル>
件 名 LCSH:Thin films
LCSH:Plasma-enhanced chemical vapor deposition
書誌ID 1000017039
NCID BA14397573

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