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<図書>
Dry etching for microelectronics / edited by Ronald A. Powell
(Materials processing, theory and practices ; v. 4)

データ種別 図書
出版者 Amsterdam ; Tokyo : North-Holland
出版者 New York, N.Y. : Distributors for the USA and Canada, Elsevier Science Pub. Co.
分 類 LCC:TK7871.85
DC:621.381/73
出版年 1984
大きさ xi, 299 p. : ill. ; 24 cm

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3F
426E||Pow 10046001

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一般注記 Bibliography: p. 223-294
Includes index
著者標目 Powell, Ronald A.
件 名 LCSH:Semiconductors -- Etching  全ての件名で検索
LCSH:Plasma etching
書誌ID 1000010319
NCID BA00157673

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