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＜図書＞
スパタリング ゲンショウ : キソ ト ハクマク ・ コーティング ギジュツ エノ オウヨウ
スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用 / 金原粲著
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 東京大学出版会 |
| 分 類 | NDC8:549 NDLC:ND371 |
| 出版年 | 1984.3 |
| 大きさ | ix, 231p ; 22cm |
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| 一般注記 | 各章末: 参考文献 一般的参考書: p226 |
|---|---|
| 著者標目 | 金原, 粲(1933-) <キンバラ, アキラ> |
| 件 名 | NDLSH:薄膜 |
| 書誌ID | 1000000069 |
| NCID | BN00164488 |