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<図書>
Plasma etching : an introduction / edited by Dennis M. Manos, Daniel L. Flamm
(Plasma-materials interactions)

データ種別 図書
出版者 Boston ; Tokyo : Academic Press
分 類 LCC:TA2020
DC19:621.044
NDC8:427.6
出版年 c1989
大きさ xii, 476 p. : ill. ; 24 cm

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3F
426E||Man 10045896

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著者標目 Manos, Dennis M.
Flamm, Daniel L.
件 名 LCSH:Plasma etching
書誌ID 1000011338
NCID BA07363130

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