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<図書>
プラズマ プロセス ノ ゲンリ
プラズマ/プロセスの原理 / Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg著 ; 佐藤久明訳

データ種別 図書
出版者 東京 : 丸善
分 類 NDC8:427.6
NDC9:427.6
出版年 2010.1
大きさ xxix, 612p : 挿図 ; 26cm

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3F
426E||Lie 30009351

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別書名 原タイトル:Principles of plasma discharges and materials processing
著者標目 Lieberman, M. A. (Michael A.)
Lichtenberg, Allan J
佐藤, 久明 <サトウ, ヒサアキ>
堀, 勝(1958-) <ホリ, マサル>
件 名 BSH:プラズマ物理学
書誌ID 1000074975
NCID BB00985264

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