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<図書>
Ion implantation, sputtering and their applications / by P. D. Townsend, J. C. Kelly, N. E. W. Hartley

データ種別 図書
出版者 London ; New York : Academic Press
分 類 LCC:QC702.7.I55
DC:530.4/1
出版年 1976
大きさ ix, 333 p. : ill. ; 24 cm

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3F
428C||Tow 10187276

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一般注記 Includes bibliographies and index
著者標目 *Townsend, Peter David
Kelly, J. C. (John Clive) joint author
Hartley, W. N. joint author
件 名 LCSH:Ion implantation
LCSH:Sputtering (Physics)
書誌ID 1000014694
NCID BA07511624

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