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<図書>
Ion implantation : science and technology / edited by J.F. Ziegler

データ種別 図書
出版者 Orlando, FL : Academic Press
分 類 LCC:QC702.7.I55
DC19:539/.6
出版年 1984
大きさ 635 p. ; 24 cm

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3F alk. paper 429AA||Zie 10176667

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一般注記 Includes index
著者標目 Ziegler, J. F.
件 名 LCSH:Ion implantation
書誌ID 1000045431
NCID BA01370949

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