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＜Books＞
プラズマ プロセス ノ ゲンリ
プラズマ/プロセスの原理 / Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg著 ; 佐藤久明訳
| Material Type | Books |
|---|---|
| Publisher | 東京 : 丸善 |
| Classification | NDC8:427.6 NDC9:427.6 |
| Year | 2010.1 |
| Size | xxix, 612p : 挿図 ; 26cm |
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| Other titles | original title:Principles of plasma discharges and materials processing |
|---|---|
| Notes | 監修: 堀勝 参考文献: p[591]-604 |
| Authors | Lieberman, M. A. (Michael A.) Lichtenberg, Allan J 佐藤, 久明 <サトウ, ヒサアキ> 堀, 勝(1958-) <ホリ, マサル> |
| Subjects | BSH:プラズマ物理学 |
| ID | 1000074975 |
| NCID | BB00985264 |