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スパタリング ゲンショウ : キソ ト ハクマク ・ コーティング ギジュツ エノ オウヨウ
スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用 / 金原粲著
| Material Type | Books |
|---|---|
| Publisher | 東京 : 東京大学出版会 |
| Classification | NDC8:549 NDLC:ND371 |
| Year | 1984.3 |
| Size | ix, 231p ; 22cm |
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| Notes | 各章末: 参考文献 一般的参考書: p226 |
|---|---|
| Authors | 金原, 粲(1933-) <キンバラ, アキラ> |
| Subjects | NDLSH:薄膜 |
| ID | 1000000069 |
| NCID | BN00164488 |