<図書>
Plasma-aided nanofabrication : from plasma sources to nanoassembly / Kostya (Ken) Ostrikov and Shuyan Xu
データ種別 | 図書 |
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出版者 | Weinheim : WILEY-VCH |
分 類 | SG:670 |
出版年 | c2007 |
大きさ | xiii, 300 p. : ill. (some col.) ; 25 cm |
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著者標目 | Ostrikov, Kostya (Ken) Xu, Shuyan |
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書誌ID | 1000080432 |
NCID | BA83045724 |