<Books>
プラズマ プロセス ノ ゲンリ
プラズマ/プロセスの原理 / Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg著 ; 佐藤久明訳
Material Type | Books |
---|---|
Publisher | 東京 : 丸善 |
Classification | NDC8:427.6 NDC9:427.6 |
Year | 2010.1 |
Size | xxix, 612p : 挿図 ; 26cm |
Hide book details.
Hide details.
Other titles | original title:Principles of plasma discharges and materials processing |
---|---|
Notes | 監修: 堀勝 参考文献: p[591]-604 |
Authors | Lieberman, M. A. (Michael A.) Lichtenberg, Allan J 佐藤, 久明 <サトウ, ヒサアキ> 堀, 勝(1958-) <ホリ, マサル> |
Subjects | BSH:プラズマ物理学 |
ID | 1000074975 |
NCID | BB00985264 |