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＜図書＞
プラズマ プロセス ノ ゲンリ
プラズマ/プロセスの原理 / Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg著 ; 佐藤久明訳
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 丸善 |
| 分 類 | NDC8:427.6 NDC9:427.6 |
| 出版年 | 2010.1 |
| 大きさ | xxix, 612p : 挿図 ; 26cm |
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| 別書名 | 原タイトル:Principles of plasma discharges and materials processing |
|---|---|
| 一般注記 | 監修: 堀勝 参考文献: p[591]-604 |
| 著者標目 | Lieberman, M. A. (Michael A.) Lichtenberg, Allan J 佐藤, 久明 <サトウ, ヒサアキ> 堀, 勝(1958-) <ホリ, マサル> |
| 件 名 | BSH:プラズマ物理学 |
| 書誌ID | 1000074975 |
| NCID | BB00985264 |