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＜図書＞
Low pressure plasmas and microstructuring technology / Gerhard Franz
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版情報 | Berlin : Springer , c2009 |
| 分 類 | DC22:621.044 |
| 大きさ | xxiv, 732 p. : ill. ; 25 cm |
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| 一般注記 | Includes bibliographical references and index |
|---|---|
| 著者標目 | *Franz, Gerhard |
| 件 名 | LCSH:Plasma (Ionized gases) -- Industrial applications
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LCSH:Plasma engineering LCSH:Plasma etching |
| 書誌ID | 1000074969 |
| NCID | BA9169860X |