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<図書>
Low pressure plasmas and microstructuring technology / Gerhard Franz

データ種別 図書
出版者 Berlin : Springer
分 類 DC22:621.044
出版年 c2009
大きさ xxiv, 732 p. : ill. ; 25 cm

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3F
500||Ger 50015148

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一般注記 Includes bibliographical references and index
著者標目 *Franz, Gerhard
件 名 LCSH:Plasma (Ionized gases) -- Industrial applications  全ての件名で検索
LCSH:Plasma engineering
LCSH:Plasma etching
書誌ID 1000074969
NCID BA9169860X

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