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クラスターイオンビーム基礎と応用 : 次世代ナノ加工プロセス技術 / 山田公編著

データ種別 図書
出版者 東京 : 日刊工業新聞社
分　類 NDC8:549.1
NDC9:549.1
出版年 2006.10
大きさ xi, 223p ; 21cm

所蔵情報を非表示

3F
426F||Yam 30009062
目次PDF

書誌詳細を非表示

別書名 標題紙タイトル:Cluster ion beam technology : advanced nano fabrication process
標題紙タイトル:クラスターイオンビーム : 基礎と応用 : 次世代ナノ加工プロセス技術
著者標目 山田, 公 <ヤマダ, イサオ>
件　名 BSH:イオンビーム
書誌ID 1000074519
NCID BA79102802

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