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<図書>
クラスター イオン ビーム キソ ト オウヨウ : ジセダイ ナノ カコウ プロセス ギジュツ
クラスターイオンビーム基礎と応用 : 次世代ナノ加工プロセス技術 / 山田公編著
データ種別
図書
出版者
東京 : 日刊工業新聞社
分 類
NDC8:
549.1
NDC9:
549.1
出版年
2006.10
大きさ
xi, 223p ; 21cm
所蔵情報を非表示
配架場所
巻 次
請求記号
資料番号
状 態
コメント
予約
3F
426F||Yam
30009062
目次PDF
書誌詳細を非表示
別書名
標題紙タイトル:Cluster ion beam technology : advanced nano fabrication process
標題紙タイトル:クラスターイオンビーム : 基礎と応用 : 次世代ナノ加工プロセス技術
著者標目
山田, 公
<ヤマダ, イサオ>
件 名
BSH:
イオンビーム
書誌ID
1000074519
NCID
BA79102802
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