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<図書>
マイクロ ナノ デンシ ビーム ソウチ ニオケル シンクウ ギジュツ
マイクロ・ナノ電子ビーム装置における真空技術 / 吉村長光著
データ種別
図書
出版者
東京 : エヌ・ティー・エス
分 類
NDC9:
534.93
NDLC:
NB126
出版年
2003.12
大きさ
6, 338, 2, 10p : 挿図 ; 26cm
所蔵情報を非表示
配架場所
巻 次
請求記号
資料番号
状 態
コメント
予約
3F
534||Yos
30008650
目次PDF
3F
534||Yos||b
40045585
目次PDF
書誌詳細を非表示
別書名
異なりアクセスタイトル:マイクロ・ナノ電子ビーム装置における真空技術
一般注記
監修: 岡野達雄
参考・引用文献: 各章末
著者標目
吉村, 長光
<ヨシムラ, ナガミツ>
件 名
BSH:
真空技術
BSH:
電子線
NDLSH:
真空工学
書誌ID
1000074195
NCID
BA6508397X
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